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貼片電感代理商:淺談Chip First工藝的eWLB

作者:點擊數:發布時間:2021-10-26

自從Fan-Out封裝問世以來,經過多年的技術發展,扇出式封裝已經形成了多種封裝流程、封裝結構以適應不同產品需要,根據工藝流程,可以分為先貼芯片后加工RDL的Chip First工藝和先制作RDL后貼裝芯片的Chip Last工藝兩大類,其中,結構最簡單的是采用Chip First工藝的eWLB,該結構如下圖:


貼片電感代理商:淺談Chip First工藝的eWLB

其工藝流程如下:

1、將切割好的芯片Pad面向下粘貼在帶臨時鍵合膠的載片上;

2、從芯片背面對載片進行灌膠塑封;

3、移除臨時載片形成塑封后的二次晶圓(扇出式晶圓);

4、去除Pad上的殘留膠并在Pad面形成RDL層;

5、在RDL層上植球并切割成單個成品。

此技術的優勢是制程相對簡單,成本優勢明顯。但由于移除載片后,扇出晶圓的翹曲難以控制,對RDL線路的生長技術提出了挑戰,難以制作高密度的RDL,因此該技術主要應用于布線密度較低的中低端的產品。

文章源自:芯片封裝,貼片電感,貼片電感代理商



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